[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其包含：

成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及

冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的两侧端部与比所述端部接近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火；

所述冷却步骤包含：第1冷却速度控制步骤，以第1平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述平板玻璃的所述中央部的温度成为退火点为止；

第2冷却速度控制步骤，以第2平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点-50℃为止；及

第3冷却速度控制步骤，以第3平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述应变点-50℃成为所述应变点-200℃为止；

所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间，且所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁及将设置在所述退火路室中的所述空间进行分隔的间隔壁中的至少一处间隔壁使用隔热板，

所述隔热板具有可以如下方式进行控制的隔热性，即

(1)所述第1平均冷却速度为5.0℃／秒以上且50.0℃／秒以下，

(2)所述第1平均冷却速度快于所述第2平均冷却速度及所述第3平均冷却速度，

(3)经所述冷却步骤冷却的所述平板玻璃具有100ppm以下的热收缩率，且应变的延迟值具有1.0nm以下的值。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中以所述第3平均冷却速度快于所述第2平均冷却速度的方式受到控制，

所述第3冷却速度控制步骤包含以所述平板玻璃的宽度方向的温度自所述平板玻璃的宽度方向的端部朝向中央部变低的方式进行控制的步骤。

3.一种玻璃基板的制造方法，其包含：

成形步骤，使用设置在成形炉室中的成形体，利用下拉法，自熔融玻璃成形平板玻璃；及

冷却步骤，当所述平板玻璃在与所述成形炉室邻接的退火炉室内通过时，一面控制所述平板玻璃的通过方向的冷却速度及所述平板玻璃的宽度方向的温度分布，一面将包含所述平板玻璃的形成在侧部的端部与比所述端部接近平板玻璃的宽度方向的中心的中央部的所述平板玻璃进行退火；

所述冷却步骤包含：第4冷却速度控制步骤，在所述中央部以第4平均冷却速度冷却平板玻璃，直至所述平板玻璃的宽度方向的所述中央部的温度成为退火点为止；

第5冷却速度控制步骤，在所述中央部以第5平均冷却速度冷却平板玻璃的所述中央部，直至所述中央部的温度自所述退火点成为应变点为止；及

第6冷却速度控制步骤，在所述中央部以第6平均冷却速度冷却所述中央部，直至所述中央部的温度自所述应变点成为所述应变点-100℃为止；

所述退火炉室被分隔为至少2个以上的空间，且所述成形炉室与所述退火炉室之间的间隔壁及将设置在所述退火路室中的所述空间进行分隔的间隔壁中的至少一处间隔壁使用隔热板，

所述隔热板具有可以如下方式进行控制的隔热性，即

(4)所述第4平均冷却速度快于所述第5平均冷却速度及所述第6平均冷却速度，

(5)所述第6平均冷却速度慢于所述第5平均冷却速度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中所述隔热板的热阻为0.07m²·K／W以上。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中所述成形步骤及所述冷却步骤包括在包含所述成形炉室及所述退火炉室的炉室中，一面利用辊将所述平板玻璃朝向下方拉伸，一面进行所述平板玻璃冷却的步骤，

实施所述平板玻璃冷却的步骤是在自所述成形体的下部至所述中央部的温度低于玻璃应变点附近的温度区域为止的温度区域，进行所述平板玻璃的宽度方向的温度控制，

实施所述平板玻璃冷却的步骤是实施玻璃应变点上温度控制步骤，该玻璃应变点上温度控制步骤包含：

第1温度控制步骤，以所述平板玻璃的宽度方向的端部低于由所述端部夹着的中央区域的温度，且所述中央区域的温度变得均匀的方式进行温度控制；及第2温度控制步骤，以所述平板玻璃的宽度方向的温度自所述中央部朝向端部变低的方式进行温度控制。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其中所述隔热板的热阻为0.07m²·K／W以上。