[实用新型]具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统

摘要

本实用新型涉及一种具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统，该系统增加一路清洁气源管路，该管路连接清洁气源，当发生堵塞时通过双向流量控制器，反方向通入清洁气源，吹扫管路清除了管路中沉淀的垃圾，使特气管路畅通无阻。本实用新型的特气传输管路不易堵塞，保证工作人员的安全和注入设备工艺能力的稳定性，最大程度的提高了离子注入设备的使用效率，提高了设备工艺的稳定性。此外清洁气源管路上设置有单向流量控制器，可以根据不同工况调节控制清洁气的流量，适应不同堵塞情况。

主权项

一种具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统，具有储存特气的特气钢瓶（1），特气钢瓶（1）的出口连接输送特气的特气管路（2），特气开关阀门一（3），减压阀（4），流量控制器（5），特气开关阀门二（6）依次安装在特气管路（2）的主管路上；特气管路（2）在特气钢瓶（1）与特气开关阀门一（3）之间分出另一条支管路，所述支管路上设置特气开关阀门三（7）并连接在流量控制器（5）与特气开关阀门二（6）之间，特气经特气管路（2）输送并进入到注入设备离子源反应腔室；其特征在于：所述流量控制器（5）为双向流量控制器；所述流量控制器（5）与特气开关阀门二（6）之间增加一路清洁气源管路（8），该管路连接清洁气源。