[实用新型]具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统有效
| 申请号： | 201320891407.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203700501U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王开军 | 申请（专利权）人： | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;H01J37/317 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 自动 清洁 功能 离子 注入 设备 传输 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统，具有储存特气的特气钢瓶（1），特气钢瓶（1）的出口连接输送特气的特气管路（2），特气开关阀门一（3），减压阀（4），流量控制器（5），特气开关阀门二（6）依次安装在特气管路（2）的主管路上；特气管路（2）在特气钢瓶（1）与特气开关阀门一（3）之间分出另一条支管路，所述支管路上设置特气开关阀门三（7）并连接在流量控制器（5）与特气开关阀门二（6）之间，特气经特气管路（2）输送并进入到注入设备离子源反应腔室；其特征在于：所述流量控制器（5）为双向流量控制器；所述流量控制器（5）与特气开关阀门二（6）之间增加一路清洁气源管路（8），该管路连接清洁气源。
2.根据权利要求1所述的具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统，其特征在于：所述清洁气源管路（8）上具有单向流量控制器（9），控制清洁气的流量。
3.根据权利要求1所述的具有自动清洁功能的离子注入设备特气传输系统，其特征在于：所述清洁气源管路（8）连接的清洁气源为氮气。
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