[实用新型]一种用于OGS小片制程的镀膜夹具有效
| 申请号： | 201320871488.6 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203700502U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王进东 | 申请（专利权）人： | 江苏宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 朱庆华 |
| 地址： | 223100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于OGS小片制程的镀膜夹具，包括多个小片基板夹具，所述小片基板夹具呈矩形，由四个边框首尾连接而成，所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽，所述基板边缘固定在所述卡槽内。本实用新型的用于OGS小片制程的镀膜夹具，能快速对小片的基板进行快速整齐的装片，对多片基板同时镀膜，利于批量生产，提高了生产效率，此外，基板都可以很容易地被固定在传动台上，便于连续式的磁控溅射镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ogs 小片 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于OGS小片制程的镀膜夹具，其特征在于，包括多个小片基板夹具，所述小片基板夹具呈矩形，由四个边框首尾连接而成，所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽，所述基板边缘固定在所述卡槽内。
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