[实用新型]一种硅基光波导偏振转换器有效
申请号: | 201320851302.0 | 申请日: | 2013-12-23 |
公开(公告)号: | CN203673098U | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 王苗庆 | 申请(专利权)人: | 绍兴中科通信设备有限公司 |
主分类号: | G02B6/126 | 分类号: | G02B6/126;G02B6/14 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人: | 蒋卫东 |
地址: | 312000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开一种硅基光波导偏振转换器,包括硅衬底、覆盖在硅衬底上表面的二氧化硅层、硅波导层和金属条层,其中,所述硅波导层的横截面呈“L”形,其下表面生长或键合在二氧化硅层的上表面上,上表面形成一高台面和一低台面,金属条层覆盖在硅波导层的低台面上。通过在非对称硅波导层的低台面集成金属条,从而在硅波导层中形成表面等离子体波,增加了两个偏振模式间的有效折射率差,由于偏振转换的效率与模式有效折射率差成反比,从而大大缩减偏振转换器的长度。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅基光 波导 偏振 转换器 | ||
【主权项】:
一种硅基光波导偏振转换器,其特征在于:包括硅衬底、覆盖在硅衬底上表面的二氧化硅层、硅波导层和金属条层,其中,所述硅波导层的横截面呈“L”形,其下表面生长或键合在二氧化硅层的上表面上,上表面形成一高台面和一低台面,金属条层覆盖在硅波导层的低台面上。
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