[实用新型]光刻胶显影装置有效
| 申请号： | 201320850730.1 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203630511U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 金海猷 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 张荣亮 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，缓存槽的出口处设置过滤器，其中喷嘴为锯齿形喷嘴。与现有技术相比，显影工艺是将显影液通过喷嘴喷淋在晶圆表面上，由于喷嘴为锯齿形，有效地清除了在喷淋之前形成的细小气泡，也清除了残留在晶圆图案间的气泡，消除了图案的变形，为后续地蚀刻工艺提供清晰的图案，提高了产品的质量和产量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，所述显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，所述缓存槽的出口处设置过滤器，其特征在于，所述喷嘴为锯齿形喷嘴（5）。
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