[实用新型]光刻胶显影装置有效
| 申请号： | 201320850730.1 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203630511U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 金海猷 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 张荣亮 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 显影 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶显影装置，包括显影罐、缓存槽、流量计、过滤器、气动阀及喷嘴，所述显影罐、缓存槽、流量计、气动阀及喷嘴依次通过管道连通，所述缓存槽的出口处设置过滤器，其特征在于，所述喷嘴为锯齿形喷嘴（5）。
2.根据权利要求1所述的光刻胶显影装置，其特征在于，还包括气吹喷头，所述气吹喷头活动连接在锯齿形喷嘴（5）上，其与气体管路一体成形。
3.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴（5）中锯齿个数至少为3个。
4.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴（5）中锯齿的高度为4～5mm。
5.根据权利要求1或2所述的光刻胶显影装置，其特征在于，所述锯齿形喷嘴（5）中锯齿间距为1～1.5mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州同鑫光电科技有限公司，未经徐州同鑫光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320850730.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
