[实用新型]一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统，砂浆供给箱分别通过电机泵由管道连接冷却塔A和冷却塔B；冷却塔A由管道分别连接上面和下面的左和右路砂浆供给系统；冷却塔B由管道分别连接上面和下面的中路砂浆供给系统；在冷却塔的冷却水进水管道上和砂浆供给系统的供给管道上都安装有电磁阀和流量计，电磁阀和流量计的信号输入端连接控制系统。采用本实用新型的硅片多线切割设备能够保证切割硅片处的切割线和砂浆温度更低，以满足硅棒最佳质量的切割，避免了因硅棒温度过高而产生的粘片和切割线带砂能力不足等现象的发生，提高了硅片良率约1%，节省了能源，延长了使用寿命。

主权项

一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统，其包括砂浆供给箱、回流过滤箱、冷却塔A、冷却塔B、冷却塔C、管道、上面的左、中、右三路砂浆供给系统、下面的左、中、右三路砂浆供给系统和控制系统；砂浆供给箱分别通过电机泵由管道连接冷却塔A和冷却塔B的进浆口；上面的左、中、右三路砂浆供给系统分别位于主辊A右上的切割线上端、上工作台上、主辊B左上的切割线上端，下面的左、中、右三路供给系统分别位于主辊C右下的切割线上端、下工作台上、主辊D左下的切割线上端；上面和下面的中路砂浆供给系统分别随上、下工作台上下移动；切割室的砂浆回流口通过管道连接回流过滤箱的进浆口，回流过滤箱出浆口通过管道连接冷却塔C的进浆口，冷却塔C的出浆口通过管道连接砂浆供给箱；其特征在于：所述的冷却塔A的出浆口由管道分别连接上面的左和右路砂浆供给系统、下面的左和右路砂浆供给系统；冷却塔B的出浆口由管道分别连接上面的中路砂浆供给系统和下面的中路砂浆供给系统；在冷却塔A和冷却塔B的冷却水进水管道上和砂浆供给系统的供给管道上都安装有电磁阀和带温度传感器的流量计，带温度传感器的流量计的信号输出端连接控制系统的信号输入端，控制系统的信号输出端连接电磁阀的信号输入端；砂浆供给系统的供给管道上的流量计上的温度传感器的温度信号给控制系统，控制系统输出控制信号给冷却塔A和冷却塔B的冷却水进水管道上电磁阀，这些电磁阀控制进入冷却塔A和冷却塔B的冷却水量，使冷却塔B的温度低于冷却塔A的温度，以保证六路砂浆供给系统在供给的砂浆量相同的情况下，靠近主辊B或主辊C的第二个硅棒的温度与靠近主辊A或主辊D的第一个硅棒的温度一致。