[实用新型]一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统

说明书

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，涉及一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统。

背景技术

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。多线切割设备是用于切割硅片的设备，其是通过密集金属线的高速往复运动，带动砂浆将硅块材料一次同时切割成数百或数千片薄片。砂浆起到磨损硅料和冷却主辊和切割线的作用，其性能受温度影响较大。多线切割设备一般为两个系统，包括切割系统和砂浆供给系统，其中切割系统包括放线轴、收线轴和四个主辊，其中砂浆供给系统包括一个砂浆供给箱、一个回流过滤箱、两个冷却塔和连接管道；砂浆供给箱的砂浆使用电机泵通过管道输送给与其对应的冷却塔，经冷却塔冷却的砂浆又通过管路分别供给上面的左、中、右三路砂浆供给系统和下面的左、中、右三路砂浆供给系统，冷却后的砂浆经过切割室对硅棒进行切割，切割后的砂浆流入回流过滤箱，经过过滤后再进入冷却塔进行初步冷却，最终回到砂浆供给箱，形成闭路循环，上面的左、中、右三路砂浆供给系统分别位于主辊A右上的切割线上端、上工作台上、主辊B左上的切割线上端，下面的左、中、右三路供给系统分别位于主辊C右下的切割线上端、下工作台上、主辊D左下的切割线上端，由于上面的左、中、右三路砂浆供给系统由其中一个冷却塔冷却供给砂浆，下面的左、中、右三路供给系统由另一个冷却塔冷却供给砂浆，六路供给系统内的砂浆均匀分配，冷却能力相同。多线切割设备在主辊A和主辊B之间、在主辊C和主辊D之间的工作台上分别放置两个硅棒；按照切割线的旋转方向，靠近主辊A和主辊D的硅棒首先被切割，切割线在切割过程中产生的热量多，而两个硅棒之间的间隔距离短，虽然切割线被中路砂浆供给系统供给的砂浆冷却，但由于六路砂浆供给的温度和砂浆量完全相同，切割线还来不及降到切割第一硅棒时的温度就又去切割靠近主辊B和主辊C的第二个硅棒，导致第二个硅棒的温度偏高，进而导致其砂浆悬浮能力差，粘度降低，一方面导致碳化硅滞留在硅片间，从而产生粘片，难以清洗，碎片率高，延误工时等问题；另一方由于温度的升高切割线带砂能力减小，会导致硅片TTV较大，线痕增多，从而影响成品率。

实用新型内容

本实用新型的目的就是解决现有技术中存在的上述问题，提供一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统，采用该砂浆冷却供给系统的硅片多线切割设备能够保证切割靠近主辊B或主辊C的第二个硅棒时的切割线和其带浆温度与切割靠近主辊A或主辊D的第一个硅棒的切割线和其带浆温度一致。

为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是：一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统，其包括砂浆供给箱、回流过滤箱、冷却塔A、冷却塔B、冷却塔C、管道、上面的左、中、右三路砂浆供给系统、下面的左、中、右三路砂浆供给系统和控制系统；砂浆供给箱分别通过电机泵由管道连接冷却塔A和冷却塔B的进浆口；上面的左、中、右三路砂浆供给系统分别位于主辊A右上的切割线上端、上工作台上、主辊B左上的切割线上端，下面的左、中、右三路供给系统分别位于主辊C右下的切割线上端、下工作台上、主辊D左下的切割线上端；上面和下面的中路砂浆供给系统分别随上、下工作台上下移动；冷却塔A的出浆口由管道分别连接上面的左和右路砂浆供给系统、下面的左和右路砂浆供给系统；冷却塔B的出浆口由管道分别连接上面的中路砂浆供给系统和下面的中路砂浆供给系统；切割室的砂浆回流口通过管道连接回流过滤箱的进浆口，回流过滤箱出浆口通过管道连接冷却塔C的进浆口，冷却塔C的出浆口通过管道连接砂浆供给箱；在冷却塔A和冷却塔B的冷却水进水管道上和砂浆供给系统的供给管道上都安装有电磁阀和带温度传感器的流量计，带温度传感器的流量计的信号输出端连接控制系统的信号输入端，控制系统的信号输出端连接电磁阀的信号输入端。砂浆供给系统的供给管道上的流量计上的温度传感器的温度信号给控制系统，控制系统输出控制信号给冷却塔A和冷却塔B的冷却水进水管道上电磁阀，这些电磁阀控制进入冷却塔A和冷却塔B的冷却水量，使冷却塔B的温度低于冷却塔A的温度，以保证六路砂浆供给系统在供给的砂浆量相同的情况下，靠近主辊B或主辊C的第二个硅棒的温度与靠近主辊A或主辊D的第一个硅棒的温度一致。