[实用新型]一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备有效
| 申请号： | 201320824950.7 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN203658727U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 史晓华 | 申请（专利权）人： | 史晓华 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，包括机台，还包括：压印腔机构，其设置于上述机台上；模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，该模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；基板平台，其设置于上述机台上、上述模板平台的下方，该基板平台通过一平台驱动装置驱动，在上述压印腔机构和模板平台之间来回移动。本实用新型不但可以实现多层图像套刻压印，而且可以形成对准、贴合和压印等一系列的工作，提高整体的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 快速 对准 功能 新型 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备，包括机台，其特征在于：还包括：压印腔机构，其设置于所述机台上；模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，所述模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；基板平台，其设置于所述机台上、所述模板平台的下方，所述基板平台通过一平台驱动装置驱动，在所述压印腔机构和所述模板平台之间来回移动。
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