[实用新型]一种超光滑表面无损垂直装夹夹具有效
申请号: | 201320812340.5 | 申请日: | 2013-12-10 |
公开(公告)号: | CN203639539U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 刘希强;苏宇;张爱民;刘新 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业第六一八研究所 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 中国航空专利中心 11008 | 代理人: | 杜永保 |
地址: | 710065 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型属于光学薄膜掩膜技术,涉及一种超光滑表面无损垂直装夹夹具。所述超光滑表面无损垂直装夹夹具为一掩膜套,该掩膜套底部设置有用于镀膜的镀膜孔,侧壁内表面设置有与零件形状相匹配的凹陷,该凹陷对面的侧壁设置有用于安装顶丝的螺纹孔。掩膜套底部与侧壁连接处设置有用于支撑零件倒角的环形结构。本实用新型由于在零件装夹过程中采用了三点定位结构,零件固定牢靠,采用环形支撑结构,支撑点在零件的倒角处,避免了零件工作面的损伤,而且整个夹具采用抗溅射材料金属钛加工,在镀膜时不易污染膜面。 | ||
搜索关键词: | 一种 光滑 表面 无损 垂直 夹具 | ||
【主权项】:
一种超光滑表面无损垂直装夹夹具,其特征在于,为一掩膜套,该掩膜套底部设置有用于镀膜的镀膜孔,侧壁内表面设置有于零件形状相匹配的凹陷,该凹陷对面的侧壁设置有用于安装顶丝的螺纹孔。
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