[实用新型]一种三片式椭圆栅极有效
| 申请号： | 201320808038.2 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN203639545U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 任旭升;刘希强;苏宇;王京献;王涛;李县洛 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业第六一八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型专利属于离子束沉积镀膜设备领域，是一种将Ar、N、O离子从放电室中拔出椭圆离子束的栅极。本实用新型包括顺次设置的接地栅极、加速栅极、束压栅极，三片栅极装配后孔孔同轴度小于0.02mm；各栅极上工作区域的栅极网孔的个数均相同、变化范围为2000～6000眼、呈蜂窝状排布；工作区域的栅极网孔阵列的椭圆长短半轴之比为1：1～2：1，长轴的尺寸可以在100mm～500mm之间变化。本实用新型三片式椭圆栅极有效提高了膜层的致密性和成膜的折射率均匀性，并提高靶材的利用率、降低成本，特别适用于对光学薄膜有低损耗、高精度要求的产品，且与原有栅极可方便互换，实用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三片式 椭圆 栅极 | ||
【主权项】：
一种三片式椭圆栅极，包括顺次连接且工作区域的栅极网孔同轴对应的接地栅极、加速栅极、束压栅极，其特征在于：工作区域的栅极网孔阵列为椭圆形。
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