[实用新型]一种成膜基板液相清洗用石英夹具

摘要

本实用新型公开了一种成膜基板液相清洗用石英夹具。使用本实用新型能够有效夹住成膜基板，并且在清洗过程中不损害成膜基板，清洗效果好。本实用新型的成膜基板液相清洗用石英夹具包括U型提手和底座，其中，提手焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板和定位板；石英平板和定位板的中间部分设有空槽；定位板上空槽两侧对称地设有固定槽；固定槽的宽度比成膜基板的厚度大。本实用新型的石英夹具可以应用于多种尺寸的成膜基板的清洗，提高了夹具的适用性，并且结构简单易加工，使用方便，清洗过程中不会对成膜基板造成损害，成膜基板的清洗合格率为100%。

主权项

一种成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，包括U型提手（1）和底座，其中，提手（1）焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板（2）和定位板（3）；石英平板（2）和定位板（3）的中间部分设有空槽（5）；定位板（3）上空槽两侧对称地设有固定槽（4）；固定槽（4）的宽度比成膜基板的厚度大。