[实用新型]一种成膜基板液相清洗用石英夹具有效

申请号：	201320779537.3	申请日：	2013-11-29
公开（公告）号：	CN203774276U	公开（公告）日：	2014-08-13
发明（设计）人：	王尚智;王洪元;赵丹	申请（专利权）人：	中国航天科技集团公司第五研究院第五一三研究所
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;B08B13/00
代理公司：	北京理工大学专利中心 11120	代理人：	付雷杰;杨志兵
地址：	264003 山***	国省代码：	山东;37
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摘要：
搜索关键词：	一种成膜基板液相清洗石英夹具
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【权利要求书】：

1.一种成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，包括U型提手（1）和底座，其中，提手（1）焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板（2）和定位板（3）；石英平板（2）和定位板（3）的中间部分设有空槽（5）；定位板（3）上空槽两侧对称地设有固定槽（4）；固定槽（4）的宽度比成膜基板的厚度大。

2.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述石英平板（2）和所述定位板（3）之间的间距为成膜基板长度的1/3～1/2。

3.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述空槽（5）的宽度大于成膜基板宽度尺寸的1/2。

4.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽（4）的宽度比成膜基板的厚度大0.2～0.4mm。

5.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽（4）的长度为4～8mm。

6.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽（4）之间间隔大于成膜基板长度的1/4。

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