[实用新型]循环式均匀蚀刻装置有效
| 申请号： | 201320777784.X | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN203653437U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 颜锡鸿;陈毓正 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种循环式均匀蚀刻装置，包括一槽体、一承载板、多条出酸管、一回酸管及多条气泡管，该槽体内容纳有一蚀刻液，该承载板设置于该槽体内且邻近该槽体的底端，该承载板与该槽体的底端共同界定出一回流通道，该些出酸管设置于该承载板上，该回酸管设置于该槽体的底端且连通于该回流通道，该回酸管还经由一回流管路连接该些出酸管，该些气泡管设置于该承载板上，用以施予气泡以促进该蚀刻液的扰动。采用本实用新型的循环式均匀蚀刻装置，可配合载具所产生的波动使加工件表面均匀薄化。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 均匀 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种循环式均匀蚀刻装置，其特征在于，包括：一槽体，该槽体内容纳有一蚀刻液；一承载板，设置于该槽体内且邻近该槽体的底端，该承载板与该槽体的底端共同界定出一回流通道；多条出酸管，设置于该承载板上；一回酸管，设置于该槽体的底端且连通于该回流通道，该回酸管还经由一回流管路连接所述多条出酸管；以及多条气泡管，设置于该承载板上，用以施予气泡以促进该蚀刻液的扰动。
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