[实用新型]一种小角度真空门阀装置

摘要

一种小角度门阀装置用于立式或者卧式真空镀膜设备中，主要是用于真空与大气和不同真空压力之间的隔离作用。小角度真空门阀装置包含动力气缸装置、波纹管密封装置、拉杆装置、门板、转轴装置、安全位置监测装置，其中：气缸装置用于提供给门阀开关闭合的动力；密封装置采用波纹管密封，用于真空与大气的之间隔离密封；拉杆与波纹管和门板连接，用于气缸动作的时候提推拉门板开关动作。不会出现溅射薄膜脱离的污染物沾到门阀的密封部位导致密封效果变差，并向上开启的角度为70°，正好能给将基板通过，门阀的背面与上面的加热器的距离相对开启90°的远，不会因为加热器的高温而导致门板变形或者损坏密封圈。并且达到了良好的真空压力隔离和密封。

主权项

一种小角度真空门阀装置，其特征在于：一种小角度门阀装置用于立式或者卧式真空镀膜设备中，主要是用于真空与大气和不同真空压力之间的隔离作用，小角度真空门阀装置包含动力气缸装置、波纹管密封装置、拉杆装置、门板、转轴装置、安全位置监测装置，本装置特征在于：在真空腔体隔离同气压，并且门阀向上开启角度为70°，避免出现溅射薄膜污染物污染门阀导致门阀漏气其中：所述动力气缸装置，其特征在于：气缸装置用于提供给门阀开关闭合的动力；所述密封装置，其特征在于：密封装置采用波纹管密封，用于真空与大气的之间隔离密封，避免气缸动作时漏真空；所述拉杆装置，其特征在于：拉杆装置安装在在真空腔体内部，一端与波纹管联动轴连接，一端与门板连接，用于气缸动作的时候提推拉门板开关动作。