[实用新型]一种小角度真空门阀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备中的真空隔离技术，具体是一种镀膜真空设备的小角度真空门阀装置。

背景技术

目前真空行业在不断的发展，真空镀膜得到广大用户认可和应用与各个领域，由于磁控溅射的应用广泛，采用不同的靶材能够得到不同的薄膜，用于装饰、防腐、显示、触摸或者新能源行业，特别是对于生产线上，要求能在一条生产线上能够溅镀出各种薄膜，就需要能够实现各种不同的真空压力以及需求更高的本底真空。对于目前卧式连续溅射镀膜设备，真空腔室之间采用独立门阀隔开，必需能够将各个真空室有效隔断，起到稳定的气压和纯净的工艺气体，不会有串气现象和保持很好的本底真空度。随着镀膜行业的发展，要求溅射镀膜的基板面积越来越大，要求工艺气气压越来越稳定，并能实现多种不同气体的溅射，以及在高温加热的情况，这对门阀的隔离密封和耐热程度都是一种挑战。由于目前国内翻板阀的传动复杂连接为硬链接，旋转角度大误差大，密封效果较差更换维护保养复杂，并且会可能带来油污染真空的现象。针对这样的挑战，本实用新型的一种角度真空门阀解决维护更换复杂问题，并达到高的密封隔离效果。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种成本低，并有很好的真空腔体的密封、易拆卸维修的小角度真空阀门。

本实用新能方案如下：一种小角度真空门阀装置，其特征在于：一种小角度门阀装置用于立式或者卧式真空镀膜设备中，主要是用于真空与大气和不同真空压力之间的隔离作用。小角度真空门阀装置包含动力气缸装置、波纹管密封装置、拉杆装置、门板、转轴装置、安全位置监测装置，本装置特征在于：在真空腔体隔离同气压，并且门阀向上开启角度为70°，避免出现溅射薄膜污染物污染门阀导致门阀漏气。其中：所述动力气缸装置，其特征在于：气缸装置用于提供给门阀开关闭合的动力；所述密封装置，其特征在于：密封装置采用波纹管密封，用于真空与大气的之间隔离密封，避免气缸动作时漏真空；所述拉杆装置，其特征在于：拉杆装置安装在在真空腔体内部，一端与波纹管联动轴连接，一端与门板连接，用于气缸动作的时候提推拉门板开关动作。此设计的门阀可以在卧式连续镀膜设备中应用时，不会出现溅射薄膜脱离的污染物沾到门阀的密封部位导致密封效果变差，并向上开启的角度为70°，正好能给将基板通过，门阀的背面与上面的加热器的距离相对开启90°的远，不会因为加热器的高温而导致门板变形或者损坏密封圈。并且达到了良好的真空压力隔离和密封。

所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述一种小角度真空门阀装置应用于卧式连续镀膜设备和立式连续镀膜设备。其安装在真空腔体与真空腔体之间或者安装在进出样腔室的大气侧，起到不同真空之间的隔离和大气与真空之间的隔离。

所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述一种小角度真空门阀装置的工作原理是：气缸往复运动，湿气气缸杆前后推动，气缸杆带动密封的波纹管收缩与伸张，由波纹管带动拉杆提拉门板开关，门板沿着转动轴转动，由光电传感器检测开关位置。

所述气缸装置，其特征在于：所述气缸装置是二个，安装与腔体外面，气缸为双作用气缸并有一个气缸杆，气缸是与波纹管连接密封，气缸杆在波纹管内部。两个气缸分别对应两个波纹管，分别距离门板端头为门板长度的1/4处安装。

所述波纹管密封装置，其特征在于：波纹管密封提供气缸与真空腔体之间的真空密封和用于动力传动，由气缸杆前后运动带动波纹管压缩伸张而带动连轴器运动，波纹管腔体之间采用ISO法兰密封，波纹管在腔体内部的是封死。

所述拉杆装置，其特征在于：拉杆装置是由一个连轴器、拉杆和弹簧组成，连轴器一端与波纹管连接，另一端是与拉杆连接；拉杆是采用不锈钢材质，连接门板，推拉门板的作用；弹簧是用于门板开关起到缓冲的作用弹簧安装在慢板与转轴之间连接。

所述门板，其特征在于：所述门板采用不锈钢、边缘是用O圈进行密封，与其对应的门框形成一个封闭的真空墙，门板需要承受一定的真空压力，所以门板需要在横向和纵向增加不同程度加强筋，保证门板的强度。

所述转轴装置，其特征在于：所述转轴装置是一个旋转的主轴，上面等间距分布了压板，主轴是用轴承座固定；轴承固定座固定的旋转主轴是安装在卧式设备的门框上面，门板打开的时候，门板的密封板是背对着腔体的上加热器。压板连接门板与主轴，随着主轴一起带着门板转动。

所述安全装置，其特征在于：所述安全装置是用于检测门阀是否关到位或者是开到位作用，采用光电感应器或者是红外传感器测试，检测门框下边缘位置和70°角门板的位置。