[实用新型]一种小角度真空门阀装置

权利要求书

1.一种小角度真空门阀装置，其特征在于：一种小角度门阀装置用于立式或者卧式真空镀膜设备中，主要是用于真空与大气和不同真空压力之间的隔离作用，小角度真空门阀装置包含动力气缸装置、波纹管密封装置、拉杆装置、门板、转轴装置、安全位置监测装置，本装置特征在于：在真空腔体隔离同气压，并且门阀向上开启角度为70°，避免出现溅射薄膜污染物污染门阀导致门阀漏气其中：

所述动力气缸装置，其特征在于：气缸装置用于提供给门阀开关闭合的动力；

所述密封装置，其特征在于：密封装置采用波纹管密封，用于真空与大气的之间隔离密封，避免气缸动作时漏真空；

所述拉杆装置，其特征在于：拉杆装置安装在在真空腔体内部，一端与波纹管联动轴连接，一端与门板连接，用于气缸动作的时候提推拉门板开关动作。

2.根据权利要求1所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述气缸装置是二个，安装与腔体外面，气缸为双作用气缸，气缸是与波纹管连接密封。

3.根据权利要求1所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述拉杆装置是由一个连轴器、拉杆和弹簧组成，连轴器一端与波纹管连接，另一端是与拉杆连接；拉杆是采用不锈钢材质，连接门板，推拉门板的作用；弹簧是用于门板开关起到缓冲的作用。

4.根据权利要求1所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述门板采用不锈钢、边缘是用O圈进行密封。

5.根据权利要求1所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述转轴装置是一个旋转的主轴，上面等间距分布了压板，主轴是用轴承座固定。

6.根据权利要求1所述一种小角度真空门阀装置，其特征在于：所述安全装置是用于检测门阀是否关到位或者是开到位作用，采用光电感应器或者是红外传感器测试。