[实用新型]一种化学水浴沉积时使用的双基板固定夹具

摘要

本实用新型一种化学水浴沉积时使用的双基板固定夹具，其特征在于：采用耐腐蚀、耐温、易清洗的三元乙丙橡胶材料，在客制化设计的模具中浇注而成，一个夹具是承载两片基板背对背的形式，在基板的边缘，为了保证密封性能好，夹具在边缘压制5-8mm之间，此处夹具的边缘采用的是倾斜角边缘，这便于释放其浸泡在溶液中边缘溶液造成的渗透压力，在此处做两道吸盘式的双层密封，达到双重防漏。本实用新型用于化学水浴沉积装置CBD中，该化学水浴沉积装置包含水浴加热装置、化学反应槽体、供药装置、泡药装置。本实用新型的固定夹具用于化学反应槽中药液反应中，保证化学沉积的时候基板的背面不被污染沉积上薄膜，减少基板背面清洗工艺，从而提高生产效率。

主权项

一种化学水浴沉积时使用的双基板固定夹具，其特征在于，采用耐腐蚀、耐温、易清洗的三元乙丙橡胶材料，采用热塑性浇注的方式，在客制化设计的模具中浇注，一个夹具是承载两片基板背对背的形式，在基板的边缘，为了保证密封性能好，夹具在边缘压制5‑8mm之间，此处夹具的边缘采用的是倾斜角边缘，再次，在此处做两道吸盘式的双层密封防止溶液进入。