[实用新型]一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器

摘要

本实用新型公开了一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，包括基片，所述基片上镀有热电偶堆，所述热电偶堆由两个以上包括第一电极和第二电极的薄膜热电偶通过外接点串联而成；所述热电偶堆上覆盖有过渡层；所述第一电极和第二电极的接点所在位置的过渡层上表面设有厚热障层；所述外接点所在位置的过渡层上表面设有薄热障层，且所述薄热障层覆盖所述厚热障层；所述过渡层上设有保护层，且所述保护层覆盖所述薄热障层；所述热电偶堆的两个外接端分别经一个焊盘与各自的外接引线连接。本实用新型热流传感器具有耐高温和适合大热流测试的特点；大大提高了传感器的信号输出，减小了信号后续处理的难度，提高了传感器的测试精度。

主权项

 一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，包括基片（1），其特征在于，所述基片（1）上镀有热电偶堆，所述热电偶堆由两个以上包括第一电极（2）和第二电极（3）的薄膜热电偶通过外接点（12）串联而成；所述热电偶堆上覆盖有过渡层（9）；所述第一电极（2）和第二电极（3）的接点所在位置的过渡层（9）上表面设有厚热障层（4）；所述外接点（12）所在位置的过渡层（9）上表面设有薄热障层（5），且所述薄热障层（5）覆盖所述厚热障层（4）；所述过渡层（9）上设有保护层（10），且所述保护层（10）覆盖所述薄热障层（5）；所述热电偶堆的两个外接端分别经一个焊盘（8）与各自的外接引线连接。