[实用新型]一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器

权利要求书

1. 一种用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，包括基片（1），其特征在于，所述基片（1）上镀有热电偶堆，所述热电偶堆由两个以上包括第一电极（2）和第二电极（3）的薄膜热电偶通过外接点（12）串联而成；所述热电偶堆上覆盖有过渡层（9）；所述第一电极（2）和第二电极（3）的接点所在位置的过渡层（9）上表面设有厚热障层（4）；所述外接点（12）所在位置的过渡层（9）上表面设有薄热障层（5），且所述薄热障层（5）覆盖所述厚热障层（4）；所述过渡层（9）上设有保护层（10），且所述保护层（10）覆盖所述薄热障层（5）；所述热电偶堆的两个外接端分别经一个焊盘（8）与各自的外接引线连接。

2.根据权利要求1所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述基片（1）材料为Al₂O₃或SiC，所述基片（1）尺寸为20×20mm。

3.根据权利要求1或2所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述热电偶堆材料为镍铬-镍硅的K型热偶材料、铂铑13-铂的R型热偶材料、铂铑10-铂的S型热偶材料、铂铑30-铂铑6的B型热偶材料中的一种。

4.根据权利要求3所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述第一电极（2）为Pt电极；所述第二电极（3）为PtRh13电极。

5.根据权利要求4所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述厚热障层（4）的材料为SiO₂或Al₂O₃，厚度为5μm。

6.根据权利要求4所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述薄热障层（5）的材料为SiO₂或Al₂O₃，厚度为1μm。

7.根据权利要求1所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述过渡层（9）材料为Ta₂O₅，厚度为500nm。

8.根据权利要求1所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述保护层（10）材料为碳化硼或耐高温黑色保护漆。

9.根据权利要求1所述的用于高温大热流测量的薄膜热流传感器，其特征在于，所述焊盘（8）表面涂覆有耐高温无机胶状材料（11）。