[实用新型]溅射处理室中的工艺套件有效
| 申请号： | 201320722901.2 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203602704U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 何秉元;张嘉训;季芝慧 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射处理室中的工艺套件，包括圆形卡环、接地屏蔽件、定位螺钉、外毂、隔离件和内毂，其中内毂和外毂通过螺纹连接；所述内毂为中空结构，其贯穿地装于接地屏蔽件上，内毂靠近接地屏蔽件的端部具有卡在接地屏蔽件上的凸缘以及限制隔离件的卡台；所述外毂为中空结构，其远离接地屏蔽件的端部具有限制隔离件的卡台；所述隔离件为中空结构，其安装在内毂中；所述定位螺钉依次穿过外毂、隔离件和内毂将圆形卡环和接地屏蔽件连接。本实用新型采用螺纹连接的外毂和内毂，并且利用内外毂具有的卡台限制固定隔离件，结构简单，省去了卡环同时又不需要使用卡环钳工具进行装配，可以快速拆卸和安装工艺套件，节约了设备维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 处理 中的 工艺 套件 | ||
【主权项】：
一种溅射处理室中的工艺套件，包括圆形卡环、接地屏蔽件和定位螺钉，其特征在于，还包括外毂、隔离件和内毂，其中内毂和外毂通过螺纹连接；所述内毂为中空结构，其贯穿地装于接地屏蔽件上，所述内毂靠近接地屏蔽件的端部具有卡在接地屏蔽件上的凸缘以及限制隔离件的卡台；所述外毂为中空结构，其远离接地屏蔽件的端部具有限制隔离件的卡台；所述隔离件为中空结构，其安装在内毂中；所述定位螺钉依次穿过外毂、隔离件和内毂将圆形卡环和接地屏蔽件连接。
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