[实用新型]溅射处理室中的工艺套件

权利要求书

1.一种溅射处理室中的工艺套件，包括圆形卡环、接地屏蔽件和定位螺钉，其特征在于，还包括外毂、隔离件和内毂，其中内毂和外毂通过螺纹连接；所述内毂为中空结构，其贯穿地装于接地屏蔽件上，所述内毂靠近接地屏蔽件的端部具有卡在接地屏蔽件上的凸缘以及限制隔离件的卡台；所述外毂为中空结构，其远离接地屏蔽件的端部具有限制隔离件的卡台；所述隔离件为中空结构，其安装在内毂中；所述定位螺钉依次穿过外毂、隔离件和内毂将圆形卡环和接地屏蔽件连接。

2.根据权利要求1所述的溅射处理室中的工艺套件，其特征在于，所述外毂的内壁具有内螺纹，内毂的外壁具有相配合的外螺纹。

3.根据权利要求1所述的溅射处理室中的工艺套件，其特征在于，所述外毂和内毂为金属材质。

4.根据权利要求3所述的溅射处理室中的工艺套件，其特征在于，所述外毂和内毂的材质为不锈钢、钛或铝。

5.根据权利要求1所述的溅射处理室中的工艺套件，其特征在于，所述外毂和内毂具有与扳手开口接触的平面。

6.根据权利要求1所述的溅射处理室中的工艺套件，其特征在于，所述隔离件为陶瓷材质。