[实用新型]晶片研磨盘有效

专利信息
申请号: 201320688857.8 申请日: 2013-10-31
公开(公告)号: CN203665306U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 侯明永 申请(专利权)人: 重庆晶宇光电科技有限公司
主分类号: B24B37/16 分类号: B24B37/16
代理公司: 云南派特律师事务所 53110 代理人: 龚笋根
地址: 402160 重*** 国省代码: 重庆;85
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摘要: 实用新型涉及晶片研磨加工领域,具体公开了一种晶片研磨盘,其包括一研磨盘盘体,该研磨盘盘体包括一呈圆环形设置的盘本体、设于盘本体一侧表面且向外凸出设置的凸台,以及设于盘本体另一侧表面上的研磨层;所述盘本体中间位置处设有一贯穿设置的轴孔,该轴孔内设有花键;所述研磨层表面上设有数道导流槽,该导流槽包括沿圆环的圆心向外延伸设置的数道环形槽,以及沿圆环的半径方向设置的数道径向槽,该环形槽和径向槽之间相连接设置。本实用新型的晶片研磨盘,其可以减少晶片磨损,提高光学晶片的合格率。
搜索关键词: 晶片 研磨
【主权项】:
一种晶片研磨盘,其特征在于,包括一研磨盘盘体,该研磨盘盘体包括一呈圆环形设置的盘本体、设于盘本体一侧表面且向外凸出设置的凸台,以及设于盘本体另一侧表面上的研磨层;所述盘本体中间位置处设有一贯穿设置的轴孔,该轴孔内设有花键;所述研磨层表面上设有数道导流槽,该导流槽包括沿圆环的圆心向外延伸设置的数道环形槽,以及沿圆环的半径方向设置的数道径向槽,该环形槽和径向槽之间相连接设置。
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