[实用新型]排气系统的稳压装置有效
| 申请号： | 201320672387.6 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203535506U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘铁柱 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/02 | 分类号： | G05D16/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种排气系统的稳压装置，通过对内腔体及外腔体结构的设计，在第二内腔壁及第二外腔壁上均设置有通孔，进行排气操作时，内腔体气体压强低于外界气压，在气压差的作用下内腔体缓慢向上移动，随之内腔体与外界接触的通孔个数减少，此时内腔体气体压强缓慢变大，当外腔壁与内腔壁上的通孔重合并且内腔体保持不移动时，此时稳压装置达到稳定状态，由此，避免了进行排气操作时，气体压强波动较大对排气系统及周围化学机台的正常工作造成不良影响，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 系统 稳压 装置 | ||
【主权项】：
排气系统的稳压装置，其特征在于，包括：内腔体及外腔体；所述内腔体设置于所述外腔体内；所述内腔体包括：第一内腔壁、与所述第一内腔壁连接的第二内腔壁及与所述第二内腔壁连接的底盘；其中，所述第二内腔壁上设置有多个通孔；所述外腔体包括：第一外腔壁、与所述第一外腔壁连接的第二外腔壁及与所述第二外腔壁连接的第三外腔壁；其中，所述第二外腔壁上设置有多个通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320672387.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
