[实用新型]排气系统的稳压装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种稳压装置，尤其涉及一种排气系统的稳压装置。

背景技术

目前，半导体工厂在进行产品加工制造时，因产品工艺需求，安装了大量的化学机台及化学管路，在化学机台进行作业时会产生废气，为了满足工作环境安全和化学机台稳定运行，会给每个机台安装排气管路，用于废气的处理及排出。

但是，现有技术中进行废气的排放时，通常排气操作是人工手动打开排气管路的阀，而手动打开阀的速度无法稳定把握，当打开阀的速度过快时，会产生瞬间较大的压力波动，对包括排气管路的排气系统及周围化学机台的正常工作造成不良影响，从而导致产品良率降低的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种排气系统的稳压装置，以解决现有技术中在进行排气操作时，由于人工手动打开排气管路的阀的瞬间产生较大的压力波动，对排气系统及周围化学机台的正常运作造成不良影响，导致产品良率降低的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种排气系统的稳压装置，所述排气系统的稳压装置包括：内腔体及外腔体；所述内腔体包括：第一内腔壁、与所述第一内腔壁连接的第二内腔壁及与所述第二内腔壁连接的底盘；其中，所述第二内腔壁上设置有多个通孔；所述外腔体包括：第一外腔壁、与所述第一外腔壁连接的第二外腔壁及与所述第二外腔壁连接的第三外腔壁；其中，所述第二外腔壁上设置有多个通孔。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述底盘上设置有螺母，所述螺母与所述第二内腔壁位于所述底盘的两侧。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述第三外腔壁呈喇叭形。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述第一内腔壁的长度大于所述第二外腔壁的长度。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，当所述稳压装置未工作时，所述第二内腔壁上的多个通孔与所述第二外腔壁上的多个通孔均不相通。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，当所述稳压装置工作时，所述第二内腔壁上的多个通孔与所述第二外腔壁上的多个通孔连通。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述第二内腔壁上的通孔数量多于或者等于所述第二外腔壁上的通孔。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述第二内腔壁上相邻两个通孔之间的距离与所述第二外腔壁上相邻两个通孔之间的距离相同。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述第二内腔壁上通孔的尺寸与所述第二外腔壁上通孔的尺寸相同。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述内腔体还包括卡勾，所述卡勾设置于所述第一内腔壁上；所述外腔体还包括卡头，所述卡头设置于所述第一外腔壁上；所述内腔体通过所述卡勾固定于所述外腔体的卡头上。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述卡头设置于所述第一外腔壁靠近所述第二外腔壁的一端，且设置于所述第一外腔壁内侧。

可选的，在所述排气系统的稳压装置中，所述外腔体还包括法兰，所述法兰与所述第一外腔壁连接。

在本实用新型所提供的排气系统的稳压装置中，通过对内腔体及外腔体结构的设计，在第二内腔壁及第二外腔壁上均设置有通孔，进行排气操作时，内腔体气体压强低于外界气压，在气压差的作用下内腔体缓慢向上移动，随之内腔体与外界接触的通孔个数减少，此时内腔体气体压强缓慢变大，当外腔壁与内腔壁上的通孔连通并且内腔体保持不移动时，此时稳压装置达到稳定状态，由此，避免了进行排气操作时，气体压强波动较大对排气系统及周围化学机台的正常工作造成不良影响，提高了产品良率。

附图说明

图1是本实用新型排气系统的稳压装置未工作时的剖面示意图；

图2是本实用新型排气系统的稳压装置工作时的剖面示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的排气系统的稳压装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。