[实用新型]排气系统的稳压装置有效
| 申请号： | 201320672387.6 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203535506U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘铁柱 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/02 | 分类号： | G05D16/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 系统 稳压 装置 | ||
1.排气系统的稳压装置，其特征在于，包括：内腔体及外腔体；所述内腔体设置于所述外腔体内；
所述内腔体包括：第一内腔壁、与所述第一内腔壁连接的第二内腔壁及与所述第二内腔壁连接的底盘；其中，所述第二内腔壁上设置有多个通孔；
所述外腔体包括：第一外腔壁、与所述第一外腔壁连接的第二外腔壁及与所述第二外腔壁连接的第三外腔壁；其中，所述第二外腔壁上设置有多个通孔。
2.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述底盘上设置有螺母，所述螺母与所述第二内腔壁位于所述底盘的两侧。
3.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述第三外腔壁呈喇叭形。
4.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述第一内腔壁的长度大于所述第二外腔壁的长度。
5.如权利要求4所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，当所述稳压装置未工作时，所述第二内腔壁上的多个通孔与所述第二外腔壁上的多个通孔均不相通。
6.如权利要求5所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，当所述稳压装置工作时，所述第二内腔壁上的多个通孔与所述第二外腔壁上的多个通孔连通。
7.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述第二内腔壁上的通孔数量多于或者等于所述第二外腔壁上的通孔。
8.如权利要求7所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述第二内腔壁上相邻两个通孔之间的距离与所述第二外腔壁上相邻两个通孔之间的距离相同。
9.如权利要求8所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述第二内腔壁上通孔的尺寸与所述第二外腔壁上通孔的尺寸相同。
10.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述内腔体还包括卡勾，所述卡勾设置于所述第一内腔壁上；所述外腔体还包括卡头，所述卡头设置于所述第一外腔壁上；所述内腔体通过所述卡勾固定于所述外腔体的卡头上。
11.如权利要求10所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述卡头设置于所述第一外腔壁靠近所述第二外腔壁的一端，且设置于所述第一外腔壁内侧。
12.如权利要求1所述的排气系统的稳压装置，其特征在于，所述外腔体还包括法兰，所述法兰与所述第一外腔壁连接。
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