[实用新型]一种抛光液温度控制装置有效
| 申请号： | 201320588204.2 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203557269U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 胡锋涛;陈起伟;侯柏宇;邓觉为;罗建华;李斌;马金金;杜兴时 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B51/00 | 分类号： | B24B51/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光液温度控制装置，包括液冷管路，液冷管路上设置有电磁阀，所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器，所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端；所述红外线测温传感器与温度控制仪的温度数据输入端相连，温度控制仪的控制输出端连接至电磁阀，本装置增加了温度控制仪、红外线测温传感器以及报警装置，可以实现温度控制在35℃以下或者温度在38℃以上，报警装置报警提示操作人员停机检查，成功预防由于温度上升而造成的晶片滑片破碎等此类生产报废的发生，因此可提高抛光研磨的质量，提高在线良率，降低返工率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光液温度控制装置，包括液冷管路，其特征在于：液冷管路上设置有电磁阀，所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器，所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端；所述红外线测温传感器与温度控制仪的温度数据输入端相连，温度控制仪的控制输出端连接至电磁阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安神光安瑞光电科技有限公司，未经西安神光安瑞光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320588204.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：板式工件加工工装
- 下一篇：一种采用调节螺杆调节上定盘前后移动的玻璃抛光机
