[实用新型]离子注入机之蒸发器有效
| 申请号： | 201320588165.6 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203546208U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/22 | 分类号： | C30B31/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种离子注入机之蒸发器，包括：承载体，用于承载所述离子注入机之蒸发器的各功能部件；挡板，设置在所述承载体上，且所述挡板围闭形成相互独立的多个子区间；腔室，分别设置在通过所述挡板围闭的各独立子区间内；以及滑动密封装置，所述滑动密封装置设置在所述承载体之底部，并可用于进行上下垂直运动和圆周旋转运动。本实用新型所述离子注入机之蒸发器通过增加容置InCl3的腔室，并在所述蒸发器之底部设置滑动密封装置，不仅可以延长设备定期保养周期、增加设备在线生产时间、提高设备利用率，而且可以避免InCl3在不同设备上使用造成的不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 蒸发器 | ||
【主权项】：
一种离子注入机之蒸发器，其特征在于，所述离子注入机之蒸发器包括： 承载体，所述承载体用于承载所述离子注入机之蒸发器的各功能部件； 挡板，所述挡板设置在所述承载体上，且所述挡板围闭形成相互独立的多个子区间； 腔室，所述腔室分别设置在通过所述挡板围闭的各独立子区间内；以及， 滑动密封装置，所述滑动密封装置设置在所述承载体之底部，并可用于进行上下垂直运动和圆周旋转运动。
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