[实用新型]离子注入机之蒸发器有效
| 申请号： | 201320588165.6 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203546208U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/22 | 分类号： | C30B31/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 蒸发器 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机之蒸发器，其特征在于，所述离子注入机之蒸发器包括：
承载体，所述承载体用于承载所述离子注入机之蒸发器的各功能部件；
挡板，所述挡板设置在所述承载体上，且所述挡板围闭形成相互独立的多个子区间；
腔室，所述腔室分别设置在通过所述挡板围闭的各独立子区间内；以及，
滑动密封装置，所述滑动密封装置设置在所述承载体之底部，并可用于进行上下垂直运动和圆周旋转运动。
2.如权利要求1所述的离子注入机之蒸发器，其特征在于，所述离子注入机之蒸发器的底部滑动密封装置可进一步包括设置在所述滑动密封装置内的滑动密封部件。
3.如权利要求1所述的离子注入机之蒸发器，其特征在于，所述挡板围闭形成的独立子区间的数量为4个。
4.如权利要求1所述的离子注入机之蒸发器，其特征在于，所述腔室的数量为4个。
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