[实用新型]涂层装置有效
| 申请号： | 201320569737.6 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203474883U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·科克尔特;罗尼·博切尔;约亨·克劳瑟;马尔科·肯内 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;钟锦舜 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 据不同的实施方式提供一种涂层装置（100），其具有处理室（202），其具有处理室内的载体（102）；第一元件（104），其布置在处理室（202）内的至少一个载体（102）上方；和在载体（102）和第一元件（104）之间的固定结构（106），其中第一元件（104）借助于固定装置（106）以与载体（102）有间距地布置，和其中第一元件（104）具有多个槽（104h）和/或孔（104h）。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 装置 | ||
【主权项】：
涂层装置（100），具有：‑处理室（202），其具有处理室内的载体（102）；‑第一元件（104），其布置在处理室（202）内的至少一个载体（102）上方；和‑在载体（102）和第一元件（104）之间的固定结构（106），‑其中第一元件（104）借助于固定结构（106）以与载体（102）有间距地布置，和‑其中第一元件（104）具有多个槽（104h）和/或孔（104h）。
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