[实用新型]涂层装置

权利要求书

1.涂层装置（100），具有：

-处理室（202），其具有处理室内的载体（102）；

-第一元件（104），其布置在处理室（202）内的至少一个载体（102）上方；和

-在载体（102）和第一元件（104）之间的固定结构（106），

-其中第一元件（104）借助于固定结构（106）以与载体（102）有间距地布置，和

-其中第一元件（104）具有多个槽（104h）和/或孔（104h）。

2.根据权利要求1所述的涂层装置，其中固定结构（106）具有以下中的至少一个：一个铆钉或多个铆钉、一个螺钉或多个螺钉、一个销或多个销和/或一个机械弹簧或多个机械弹簧。

3.根据权利要求1所述的涂层装置，其中固定结构（106）具有带有至少一个夹子和/或至少一个夹紧元件的夹紧结构。

4.根据权利要求1所述的涂层装置，其中固定结构（106）具有楔形连接和/或点焊连接。

5.根据权利要求1所述的涂层装置，其中第一元件（104）具有沿着载体（102）的至少一个表面（102a）的空间膨胀并且被设立为使得载体（102）的至少一个表面（102a）被覆盖。

6.根据权利要求1所述的涂层装置，其中第一元件（104）具有金属或者由所述金属组成。

7.根据权利要求1所述的涂层装置，其中第一元件（104）具有编织的金属结构、织造的金属结构、筛结构和/或纤维结构。

8.根据权利要求1所述的涂层装置，其中第一元件（104）相对于处理室中的载体（102）的位于下面的表面（102a）被设立为使得在第一元件（104）和至少一个载体（102）之间设立间隙（109）。

9.根据权利要求1所述的涂层装置，其中固定结构（106）在机械上柔性地设立为使得固定结构（106）减小在第一元件（104）和载体（102）之间的机械应力或力的传递。

10.根据权利要求1所述的涂层装置，其中处理室（202）被设立为真空处理室（202）。

11.根据权利要求1所述的涂层装置，其中载体（102）是处理室的壁元件（202b）。

12.根据权利要求1所述的涂层装置，另外具有：

涂层设备（208），用于对处理室（202）内的衬底（210）进行涂层。

13.根据权利要求12所述的涂层装置，其中载体（102）是处理室（202）内的涂层设备（208）的一部分。

14.根据权利要求12所述的涂层装置，其中涂层设备（208）具有至少一个平面磁控管和/或至少一个管式磁控管。

15.根据权利要求12所述的涂层装置，其中涂层设备（208）具有至少一个电子束蒸发器和/或至少一个热蒸发器。