[实用新型]涂层装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种涂层装置。

背景技术

一般而言，不同的涂层方法可以在为此所设立的处理室中被执行，其中衬底在处理室中可以借助于涂层系统被涂层。在此，处理室可以作为真空处理室来提供，使得例如衬底可以在真空中被涂层，例如借助于在真空室中执行的化学或物理气相沉积。借助于涂层系统蒸发的涂层材料的材料蒸汽在此可以被沉积在衬底上，其中材料蒸汽可以在真空室中扩散，例如由于蒸汽形涂层材料在真空中的大的自由路径长度。在此，处理室中的装入物或处理室本身的内壁可以被涂层，这可能导致问题，例如导致闪光物形成（Flitterbildung）。

实用新型内容

不同实施方式的一个方面直观地可以在于，用覆盖元件（第一元件）覆盖处理室（真空室或真空处理室）内的至少一个面（一个或多个面），使得在真空室内扩散的材料蒸汽至少部分地在覆盖元件上而不是在处理室内的至少一个面上沉积和/或淤积（凝结）。在此，覆盖元件可以具有结构和/或表面结构，例如覆盖元件可以具有多个孔、槽、凹处、凸出部、缺口等，使得材料蒸汽在结构化的覆盖元件上而不是在处理室内的光滑面上凝结。因此例如可以匹配、优化和/或改变基片上的所沉积的材料的粘附特性，使得不淤积在处理室中的要涂层的衬底上的材料蒸汽可以更好地粘附在相应的基片（覆盖元件）上并且从而对继续的涂层过程较少地进行干扰。例如，淤积在覆盖元件上的材料只有在较长的涂层持续时间之后才能脱落，使得可以实现涂层设备的较长的寿命（活动持续时间（Kampagnendauer））。

另外，不同实施方式的另一方面直观地可以在于，提供覆盖元件（第一元件），使得减少闪光物形成，例如覆盖元件可以以与所覆盖的面（覆盖元件的载体）有间距地布置和/或设立，使得覆盖元件机械上脱耦。另外，覆盖元件可以具有结构，所述结构减少由于热膨胀和从而引起的热诱发的机械应力引起的在覆盖元件上淤积的材料脱落，例如其方式是，覆盖元件具有多个缺口和/或孔（例如沿着横向于位于下面的被覆盖的面的方向）。

另外，不同实施方式的另一方面直观地可以在于，将覆盖元件（第一元件）以热和/或机械方式与借助于覆盖元件覆盖的面（载体）脱耦。这可以通过以下方式来实现：覆盖元件可以借助于固定结构固定，其中固定结构例如可以是柔性的，使得在覆盖元件和被覆盖的载体（基片或被覆盖的面）之间的机械力和/或机械应力的传递得以减小。另外，覆盖元件可以由以下材料或具有以下材料：所述材料与所沉积的材料组合地可以导致较少的闪光物形成。

另外，覆盖元件可以被固定为使得所述覆盖元件可以容易地被更换，例如被被夹紧、插接或者借助于线固定，使得在维护涂层装置（涂层装置的处理室）时可以使覆盖元件的更换变得容易并且从而可以更容易地净化涂层装置。

根据不同的实施方式，涂层装置可以具有以下：处理室，其具有处理室内的载体；第一元件，其布置在处理室内的至少一个载体上方；在载体和第一元件之间的固定结构，其中第一元件借助于固定结构以与载体有间距地布置，其中第一元件具有多个槽、缺口、凹处和/或孔。

在此，载体可以具有以下中的至少一个或具有以下中的至少一个：载体板材、载体构件、室壁（处理室的室壁的内侧、磁控管支架、磁控管外壳、溅射隔板或者处理室或真空处理室中的相应的装入物（Einbauten）的另外的表面。

另外，固定结构与载体的间距可以处于零（直接接触）和几厘米之间的范围中（使得在载体和第一元件之间的间隙延伸）。

另外，多个缺口和/或孔可以沿着横向载体的于位于下面的表面的方向被设立，使得可以减少闪光物形成。

另外，固定结构可以具有以下中的至少一个：一个铆钉或多个铆钉、一个螺钉或多个螺钉、一个销或多个销和/或一个机械弹簧或多个机械弹簧。在此，销可以被理解为棒状部件，例如圆柱形或者棱柱形。

另外，固定结构可以具有带有至少一个夹子和/或具有至少一个夹紧元件的夹紧结构。

另外，固定结构可以具有楔形连接、粘接连接、线结构、一个或多个线垂片和/或扣连接。

换句话说，固定结构可以被设立用以能够实现第一元件的快速的和/或简单的固定和/或脱落，例如用于在维护过程期间在打开处理室时更换第一元件。

根据不同的实施方式，第一元件可以具有沿着载体的至少一个表面的空间膨胀并且被设立使得载体的至少一个表面被覆盖。

直观地看，第一元件可以是板状的和/或具有沿着载体的平面结构，使得载体至少部分地借助于第一元件覆盖。