[实用新型]一种用于摆片研磨抛光的卡具有效

专利信息
申请号: 201320566361.3 申请日: 2013-09-12
公开(公告)号: CN203449149U 公开(公告)日: 2014-02-26
发明(设计)人: 张晓强;孙元成;宋学富 申请(专利权)人: 中国建筑材料科学研究总院
主分类号: B24B37/30 分类号: B24B37/30
代理公司: 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 代理人: 王伟锋;刘铁生
地址: 100024*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种用于摆片研磨抛光的卡具,其包括:基座,基座上表面中心设有一圆槽,基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面;开有至少一个用于容纳摆片的圆孔的摆片固定板;其贴合固定在基座的下表面;摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口;内衬垫,内衬垫置于圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。由于摆片夹持在平整度高的基座下表面和抛光盘之间,使摆片在抛光时的平行度更好,提高了成品率,对操作者的技术和经验要求也相应降低。对摆片的厚度检测简单准确,原因是摆片与卡具之间的安装与分离容易,测量时直接将其取下进行测量;研磨抛光工序省略了粘摆片步骤,测量摆片厚度时也不需要去除胶黏剂,使操作更简单,省时省力。
搜索关键词: 一种 用于 研磨 抛光 卡具
【主权项】:
一种用于摆片研磨抛光的卡具,其特征在于,包括:基座,所述基座上表面中心设有一圆槽,基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面;摆片固定板,所述摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔;所述摆片固定板贴合固定在所述基座的下表面;内衬垫,所述内衬垫置于所述圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。
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