[实用新型]一种用于摆片研磨抛光的卡具

权利要求书

1.一种用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，包括：

基座，所述基座上表面中心设有一圆槽，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；

摆片固定板，所述摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔；所述摆片固定板贴合固定在所述基座的下表面；

内衬垫，所述内衬垫置于所述圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。

2.根据权利要求1所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述基座为圆柱形。

3.根据权利要求2所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板为圆形，其直径与所述基座的直径相等。

4.根据权利要求3所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板上开有7个圆孔，摆片固定板中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口。

6.根据权利要求5所述的用于摆片研磨抛光的卡具，其特征在于，所述圆形内衬垫由阻尼布制成。