[实用新型]一种用于摆片研磨抛光的卡具

说明书

技术领域

本实用新型涉及摆片研磨抛光技术领域，特别是涉及一种用于摆片研磨抛光的卡具。

背景技术

摆片是空间用石英挠性加速度计的核心零件，其使用的基本材料是高纯或超纯石英玻璃，加工工序包括滚圆、切片、研磨、抛光、刻图、酸蚀、镀膜等。图纸要求摆片经过研磨抛光工序后必须具备很好的平行度、平面度以及表面光洁度。目前，研磨抛光工艺是将摆片用加热熔化的松香或石蜡粘在研磨抛光盘上，待冷却后摆片即被固定，然后用磨盘或抛光模对摆片进行研磨或抛光。当摆片的一面抛光完毕，对研磨抛光盘进行加热，使松香或石蜡熔化，取下摆片，用煤油或酒精等有机溶剂对摆片进行浸泡清洗、烘干，在已抛光面上涂上保护漆，待漆干后再用加热熔化的松香或石蜡将有漆一面粘在研磨抛光盘上，从而对摆片的另一面进行研磨和抛光。

这种传统工艺主要有以下缺点：1、粘摆片的松香或石蜡难以达到厚度均匀一致，造成摆片的平行度差，从而降低了成品率，对操作者的技术和经验要求高；2、对摆片的厚度检测困难，原因是摆片粘在盘上，胶的厚度不均，会对摆片厚度的精确测量产生影响；3、研磨抛光工序复杂，耗时耗力。

实用新型内容

本实用新型的目的是提出一种用于摆片研磨抛光的卡具。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于摆片研磨抛光的卡具，包括：基座，所述基座上表面中心设有一圆槽，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；摆片固定板，所述摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔；所述摆片固定板贴合固定在所述基座的下表面；内衬垫，优选为圆形，所述内衬垫置于所述圆孔内并与基座下表面粘贴在一起。

优选的，所述基座为圆柱形。

优选的，所述摆片固定板为圆形，其直径与所述基座的直径相等。

优选的，所述摆片固定板上开有7个圆孔，摆片固定板中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。

为了更便于摆片的取出，方便取片操作，所述摆片固定板上的圆孔的边缘还具有一个U型缺口。取片时用镊子从U形口处将摆片夹起，使其脱离卡具。

更优选的，所述圆形内衬垫由阻尼布制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、摆片夹持在平整度非常高的基座下表面和抛光盘之间，使摆片在抛光时的平行度更好，从而提高了成品率，对操作者的技术和经验要求也相应降低；

2、对摆片的厚度检测简单准确，原因是摆片与卡具之间的安装与分离容易，测量时直接将其取下进行测量；

3、研磨抛光工序省略了粘摆片的步骤，测量摆片厚度时也不需要去除胶黏剂的步骤，使操作更简单，省时省力。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；

图2为本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；

图3为本实用新型另一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图；

图4为本实用新型又一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、基座，2、摆片固定板，3、内衬垫，4、圆槽，5、圆孔。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

如图1和图2所示，本实用新型一种实施例的用于摆片研磨抛光的卡具示意图。一种用于摆片研磨抛光的卡具，包括：圆柱形的基座1，基座上表面中心设有一圆槽4，基座下表面为平面度小于λ/4的光滑平面；圆形的摆片固定板2，其直径与基座的直径相等。摆片固定板上开有至少一个用于容纳摆片的圆孔5；圆孔的数量不固定，可根据基座大小和实际需要设定。圆孔5的直径比摆片的直径大0.1mm。摆片固定板2贴合固定（如粘结）在基座1的下表面；内衬垫3，优选为圆形，内衬垫3置于圆孔5内并与基座下表面粘贴在一起。优选的，圆形内衬垫3由阻尼布制成，一面带有背胶。

在本实施例中，摆片固定板2上开有7个圆孔，摆片固定板2中心处一个，其余6个圆孔围绕中心圆孔均匀布置。

为了更便于摆片的取出，方便取片操作，对上述实施例进一步改进。摆片固定板2上的圆孔5的边缘还具有一个U型缺口。取片时用镊子从U形口处将摆片夹起，使其脱离卡具。

本实用新型卡具的使用过程如下：