[实用新型]一种乙硅烷低温精馏装置有效
| 申请号： | 201320559665.7 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN203529944U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 郑春宁;何波;徐昕 | 申请（专利权）人： | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 210047 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种乙硅烷低温精馏装置，所述的低温精馏装置包括低温冷凝器，制冷机、第一冷却塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一冷却塔釜和第二精馏塔釜上均设有低温冷凝器和制冷机，所述的第一冷却塔釜的连接的低温冷凝器上设有气体进口，所述第二精馏塔釜连接的低温冷凝器上设有气体出口，所述的第一冷却塔釜和第二冷却塔釜通过隔热管路相连接，所述的第一冷却塔釜内设有栅板和填料层，所述的第二精馏塔釜内设有气体加热盘管；本实用新型结构简单，设备投入成本小；操作方便，使反应系统中出来的乙硅烷99%回收分离出来，通过二级低温精馏使乙硅烷纯度达到99.995%的质量标准；方便厂家的生产超大规模集成电路20纳米以下的高端芯片的高纯度4N的乙硅烷，实用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 低温 精馏 装置 | ||
【主权项】：
一种乙硅烷低温精馏装置，所述的低温精馏装置包括低温冷凝器，制冷机、第一冷却塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一冷却塔釜和第二精馏塔釜上均设有低温冷凝器和制冷机，其特征在于，所述的第一冷却塔釜的连接的低温冷凝器上设有气体进口，所述第二精馏塔釜连接的低温冷凝器上设有气体出口，所述的第一冷却塔釜和第二冷却塔釜通过隔热管路相连接，所述的第一冷却塔釜内设有栅板和填料层，所述的第二精馏塔釜内设有气体加热盘管。
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