[实用新型]一种单晶炉热场加热器有效
| 申请号: | 201320519961.4 | 申请日: | 2013-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN203462160U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
| 发明(设计)人: | 张浩强;颜玉峰;杨立辉 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
| 代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
| 地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉热场加热器,包括筒状的加热器本体;加热器本体具有电极脚,电极脚上设有电极螺丝;所述电极螺丝上设有护罩。本实用新型简单实用,能有效避免硅液对加热器的损伤。护罩能够对电极螺丝起到保护作用,在加上护罩后,如有液态硅滴落时,液态硅将落到护罩上,避免硅液损伤电极螺丝,从而有效保护加热器。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 加热器 | ||
【主权项】:
一种单晶炉热场加热器,包括筒状的加热器本体(1);加热器本体(1)具有电极脚,电极脚上设有电极螺丝(2);其特征在于:所述电极螺丝(2)上设有护罩(3)。
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