[实用新型]一种单晶炉热场加热器有效
| 申请号: | 201320519961.4 | 申请日: | 2013-08-26 |
| 公开(公告)号: | CN203462160U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
| 发明(设计)人: | 张浩强;颜玉峰;杨立辉 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
| 代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
| 地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 加热器 | ||
1.一种单晶炉热场加热器,包括筒状的加热器本体(1);加热器本体(1)具有电极脚,电极脚上设有电极螺丝(2);其特征在于:所述电极螺丝(2)上设有护罩(3)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器,其特征在于:所述护罩(3)由高纯石墨制成,其膨胀系数与加热器本体(1)的膨胀系数相同。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器,其特征在于:所述护罩(3)的一端开口设置;护罩(3)包括上盖板(3-1)和设在上盖板(3-1)底部的三个依次联接的侧板(3-2)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场加热器,其特征在于:所述护罩(3)底部的中间位置设有与电极螺丝(2)的螺母形状相一致的凹槽。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场加热器,其特征在于:所述上盖板(3-1)的顶部两端各设有一个斜面,并且上盖板(3-1)相对于加热器本体(1)筒壁的端面为圆弧面。
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