[实用新型]一种单晶炉热场加热器

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅制备技术领域，具体涉及一种单晶炉热场加热器。 

背景技术

目前，在直拉单晶系统中，现有的加热器缺少保护措施，如图1所示，电极螺丝暴露在外，因此经常会遇到硅料滴落在电极螺丝上，造成加热器报废的情况。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于单晶炉热场加热器，简单实用，能有效避免硅液对加热器电极螺丝的损伤。 

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体；加热器本体具有电极脚，电极脚上设有电极螺丝；所述电极螺丝上设有护罩。 

其中，所述护罩由高纯石墨制成，其膨胀系数与加热器本体的膨胀系数相同。 

其中，所述护罩的一端开口设置；护罩包括上盖板和设在上盖板底部的三个依次联接的侧板。 

其中，所述护罩底部的中间位置设有与电极螺丝的螺母形状相一致的凹槽。 

其中，所述上盖板的顶部两端各设有一个斜面，并且上盖板相对于加热器本体筒壁的端面为圆弧面。 

采用上述技术方案所产生的有益效果在于： 

本实用新型简单实用，能有效避免硅液对加热器的损伤。护罩能够对电极螺丝起到保护作用，在加上护罩后，如有液态硅滴落时，液态硅将落到护罩上，避免硅液损伤电极螺丝，从而有效保护加热器。 

附图说明

图1是现有加热器的结构示意图； 

图2是本实用新型的结构示意图； 

图3是本实用新型护罩的结构示意图； 

图中：1、加热器本体，2、电极螺丝，3、护罩，3-1、上盖板，3-2、侧板。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。 

如图2所示，本实用新型为一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体1；加热器本体1具有电极脚，电极脚上设有电极螺丝2；电极螺丝2上设有护罩3；护罩3根据电极脚的形状制做，对电极脚形成包裹；护罩3由高纯石墨制成，其膨胀系数与加热器本体1的膨胀系数相同；如图3所示，护罩3的一端开口设置；护罩3包括上盖板3-1和设在上盖板3-1底部的三个依次联接的侧板3-2，上盖板3-1 的顶部两端各设有一个斜面，并且上盖板3-1相对于加热器本体1筒壁的端面为圆弧面；护罩3底部的中间位置设有与电极螺丝2的螺母形状相一致的凹槽。 

在加上护罩3后，如有液态硅滴落时，液态硅将落到护罩3上，避免硅液损伤电极螺丝2，从而有效保护加热器。