[实用新型]一种硅片的清洗装置

摘要

一种硅片的清洗装置，涉及一种清洗装置，由浮箱（1）、载片盒、连接杆（3）、旋转拨杆（7）和卡槽（6）组成，通过在载片盒上安装带有导轨（5）的卡槽（6），并在导轨（5）内设置旋转拨杆（7），再用带有浮箱（1）的连接杆（3）与旋转拨杆（7）相连接，通过浮箱（1）的移动使硅片（2）旋转，从而达到清洗硅片的表面洁净度一致的目的，本实用新型结构简单，使用方便，实用性极强，同时简化了操作步骤，极大的提高了工作效率，清洗效果好，解决了实际出现的硅片颜色不一致的问题。

主权项

一种硅片的清洗装置，包括浮箱（1）、载片盒、连接杆（3）、旋转拨杆（7）和卡槽（6），其特征是：载片盒由第一卡边（4）和第二卡边（8）组成，在载片盒上设有卡槽（6），卡槽（6）上设有导轨（5），导轨（5）上设有旋转拨杆（7），旋转拨杆（7）的一端与连接杆（3）的一端相连接，连接杆（3）的另一端与浮箱（1）相连接。