[实用新型]离子真空泵有效
申请号: | 201320471102.2 | 申请日: | 2013-08-04 |
公开(公告)号: | CN203617250U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 徐建宁 | 申请(专利权)人: | 徐建宁 |
主分类号: | H01J41/12 | 分类号: | H01J41/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210012 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种离子真空泵、涉及高真空除气。它是利用电子发射磁环将抽入石英玻璃管形容器内的气体部分电离并在旋转线圈所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加在前级真空泵的共同作用下将被抽气体连续排入大气。 | ||
搜索关键词: | 离子 真空泵 | ||
【主权项】:
一种离子真空泵,包括石英玻璃管形容器(1)、进气管(1—1)、排气管(1—2)、套装在石英玻璃管形容器(1)上的电子发射磁环(2)、电磁线圈(3)、为电子发射磁环(2)、电磁线圈(3)供电的电路(4)。
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