[实用新型]离子真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子真空泵，适用与前级真空泵配合进行高真空除气。

背景技术

利用离子气体在磁场中运动。

发明内容

本发明提供一种离子真空泵，它是将电子发射磁环、旋转线圈套装在一只石英玻璃管形容器的外壁，在石英玻璃管形容器两头焊接有进排气管；进气管用于与被抽容器连接，排气管用于与前级真空泵连接；利用电子发射磁环将被抽气体部分电离并使离子气体在旋转磁场中高速旋转，由于气体的粘滞作用离子气体带动未能电离的气体分子一起高速旋转形成涡流产生中心真空区进行除气。

本发明是由如下技术方案实现的：一种离子真空泵、包括石英玻璃管形容器、套装在石英玻璃管上的电子发射环、电磁线圈、为电子发射磁环、电磁线圈供电的电路；其特征在于：所述的的进气管穿入石英玻璃管形容器中心并向外延伸，排气管焊接在石英玻璃管形容器另外一头的径向面；所述的电子发射磁环上缠绕有线圈；所述的电磁线圈由多个绕组组成，多个绕组分别套装在一只内凸极圆形磁环内的多个均匀分布的凸极上；所述的前级真空泵用于为其提供适合的工作气体压力。

本发明的积极效果

1.利用等离子气体在旋转磁场中高速旋转没有机械运动部件，没有振动、能耗低；

2.无须润滑油故没有油气污染；

3.耐大气冲击、压缩比高、初抽压力高约2000Pa

4.被抽气体在离子态温度升高利于除气，真空度高理论上能达到10﹣12Pa；

5.结构简单、成本低，可以实现微型化、大型化。

附图说明

下面结合附图对本发明进一步详细说明。

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1的A-A剖左视图；

图3为图1的B-B剖右视图；

图4为本发明的排气工艺流程图

图中： 1、石英玻璃管形容器，1—1、进气管，1—2、排气管，2、电子发射磁环，2—1、线圈，3、电磁线圈，3—1、内凸极圆形磁环，4、电路，5、前级真空泵。

具体的实施方式

如图1、2、3、所示：一种离子真空泵，包括石英玻璃管形容器1、进气管，1—1、排气管，1—2、套装在石英玻璃管形容器1上的电子发射磁环2、绕在发射磁环2上的线圈2—1、电磁线圈3、为线圈2—1、电磁线圈3供电的电路4；其特征在于：所述的的进气管1—1穿入石英玻璃管形容器1中心并向外延伸，排气管1—2焊接在石英玻璃管形容器1另外一头的径向面；所述的电子发射磁环2上缠绕有线圈2—1；所述的电磁线圈3由多个绕组组成，多个绕组分别套装在一只内凸极圆形磁环3—1内的多个均匀分布的凸极上，多个绕组经顺序连接构成能够产生旋转磁场的电磁线圈。

如图4所示：本发明利用电子发射磁环2将抽入石英玻璃管形容器1内的气体部分电离并在电磁线圈3所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加在前级真空泵5的共同作用下将被抽气体连续排入大气。