[实用新型]离子真空泵有效
申请号: | 201320471102.2 | 申请日: | 2013-08-04 |
公开(公告)号: | CN203617250U | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 徐建宁 | 申请(专利权)人: | 徐建宁 |
主分类号: | H01J41/12 | 分类号: | H01J41/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210012 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 真空泵 | ||
1.一种离子真空泵,包括石英玻璃管形容器(1)、进气管(1—1)、排气管(1—2)、套装在石英玻璃管形容器(1)上的电子发射磁环(2)、电磁线圈(3)、为电子发射磁环(2)、电磁线圈(3)供电的电路(4)。
2.根据权利要求1所述的离子真空泵,其特征在于:所述的进气管(1—1)穿入石英玻璃管形容器(1)中心并向外延伸,排气管(1—2)焊接在石英玻璃管形容器(1)另外一头的径向面;所述的电子发射磁环(2)上缠绕有线圈(2—1);所述的电磁线圈(3)由多个绕组组成,多个绕组分别套装在一只内凸极圆形磁环(3—1)内的多个均匀分布的凸极上。
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