[实用新型]移载装置

摘要

一种移载装置，适于输送一基板，并包含一基座及一第一移载机构。该基座包括一呈水平延伸的轨道。该第一移载机构包括一第一移载单元、一呈垂直延伸并位于该轨道下方的第一轨道、一滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动的第一垂直滑移件，及一第一刚性风管组。该第一移载单元具有一滑接于轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件，一第一连接件，一第一驱动马达，及一与第一水平滑移件间隔设置且用于吸附基板的第一吸盘。第一水平滑移件带动第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于第一位置，第一吸盘吸附基板，于第二位置，基板脱离第一吸盘。本移载装置具有刚性风管组，不易变形，运作时不易产生粉尘，曝光制程良好。

主权项

一种移载装置，适于输送一基板；其特征在于：该移载装置包含一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及一第一移载机构，包括一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。