[实用新型]移载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种移载装置，特别是涉及一种能够稳固的带动待曝光基板移动的移载装置。

背景技术

现有的曝光机适于对一基板进行曝光，该基板为一待曝光基板。曝光机的移载装置，是通过一入料的移载机构，将一基板并移载至一曝光平台，基板在曝光平台完成曝光后，由一出料的移载机构，将基板移至下一道制程。入料的移载机构及出料的移载机构皆是通过带动软性管，才能完成移动。然而，软性管在移动过程中，软性管产生变形并造成摩擦，进而产生粉尘，更进一步影响曝光制程。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种运作时，不易产生粉尘的移载装置。

于是，本实用新型移载装置，适于输送一基板，该移载装置包含：

一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及

一第一移载机构，包括

一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；

一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；

一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及

一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，

该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。

较佳地，其中，该第一刚性风管组具有一枢接于该第一连接件的第一旋转接头、一枢接于该第一垂直滑移件的第一接头，及一连接于该第一旋转接头与该第一接头的第一刚性风管，该第一端是位于该第一旋转接头，该第二端是位于该第一接头。

较佳地，其中，该第一轨道为一导轨，该第一垂直滑移件为一导块。

较佳地，其中，该第一轨道为一滑轨，该第一垂直滑移件为一滑块。

较佳地，其中，该第一吸盘具有一第一吸附面，及多个彼此相间隔且自该第一吸附面凹陷形成的第一吸气孔。

较佳地，该移载装置还包含一第二移载机构，该第一移载机构与该第二移载机构分别左右设置该基座的两相对位置，该第二移载机构包括一第二移载单元、一第二轨道、一第二垂直滑移件，及一第二刚性风管组，该第二移载单元具有一滑接于该轨道的第二水平滑移件、一连设于该第二水平滑移件的第二连接件、一设置于该第二水平滑移件的第二驱动马达，及一与该第二水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第二吸盘，该第二水平滑移件相对于该第一水平滑移件一侧设置并沿该水平方向相对该轨道滑动，该第二轨道呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间，该第二垂直滑移件滑接于该第二轨道并沿该垂直方向相对该第二轨道滑动，该第二刚性风管组包括一枢接于该第一连接件的第三端，及一枢接于该第二垂直滑移件的第四端，该第二水平滑移件带动该第二吸盘在该第二位置及一第三位置间移动，于该第二位置，该第二吸盘吸附该基板，于该第三位置，该基板脱离该第二吸盘。

较佳地，其中，该第二刚性风管组具有一枢接该第二连接件的第二旋转接头、一枢接于该第二垂直滑移件的第二接头，及一连接于该第二旋转接头与该第二接头的第二刚性风管，该第三端是位于该第二旋转接头，该第四端是位于该第二接头。

较佳地，其中，该第二轨道为一导轨，该第二垂直滑移件为一导块。

较佳地，其中，该第二轨道为一滑轨，该第二垂直滑移件为一滑块。

较佳地，其中，该第二吸盘具有一第二吸附面，及多个彼此相间隔且自该第二吸附面凹陷形成的第二吸气孔。

本实用新型的有益效果在于：通过第一移载机构的第一刚性风管在第一位置及第二位置间移动时，及第二移载机构的第二刚性风管在第二位置及第三位置间移动时，不产生变形而能维持刚性，不易发生摩擦，降低产生粉尘机率，而保有良好的曝光制程。

附图说明

图1是一立体图，说明本实用新型移载装置的一较佳实施例；

图2是一另一角度的立体图，说明该较佳实施例；

图3是一示意图，说明该较佳实施例与一曝光平台；

图4是一放大示意图，说明该较佳实施例的其中一第一吸盘；

图5是一放大示意图，说明该较佳实施例的其中一第二吸盘；

图6是一动作示意图，说明于一第一位置，二第一吸盘吸附一基板；

图7是一对应图6的侧视图；