[实用新型]阵列基板和显示装置有效
申请号: | 201320459793.4 | 申请日: | 2013-07-30 |
公开(公告)号: | CN203690307U | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 闫梁臣 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种阵列基板和显示装置,属于显示技术领域。所述阵列基板的栅电极和栅线的外部包覆有金属氧化物薄膜,所述栅电极和栅线为在利用包括有第一金属和第二金属的栅金属层形成栅电极和栅线的图形之后、对栅电极和栅线的图形在含氧气体中进行退火后得到,其中,所述金属氧化物薄膜为所述第二金属与氧气发生反应后形成。通过本实用新型的技术方案,能够避免栅电极和栅线中的金属原子在阵列基板中发生扩散。 | ||
搜索关键词: | 阵列 显示装置 | ||
【主权项】:
一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括衬底基板,设置在所述衬底基板上的栅电极和栅线,所述栅电极和栅线的外部包覆有金属氧化物薄膜。
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