[实用新型]一种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴有效
| 申请号： | 201320367774.9 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN203474466U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 潘玺;燕军;崔建平 | 申请（专利权）人： | 内蒙古同远企业管理咨询有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 孙国栋 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴，所述的进料喷嘴的下端通过外螺纹固定在还原炉的底盘上，上端开有一中心孔，中心孔为圆柱形的通孔，所述的中心孔的上端进行60度斜角的扩孔，并在中心孔的四周均布有四个螺旋孔；本实用新型中将中心孔做了改进，将中心孔的上端进行了60度斜角的扩孔，这样就保证了气体浓度的均匀性，实现了硅棒表面及直径的均匀性，减少了倒棒现象，还增加了螺旋状的侧孔，螺旋孔会使通过侧孔的气体呈螺旋状上升，有利于增加硅棒顶部的物料浓度，使硅棒横梁位置生产的更好，更结实，可以有效的降低生产后期的倒棒现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 西门子 生产 多晶 工艺 还原 进料 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种改良西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴，所述的进料喷嘴的下端通过外螺纹固定在还原炉的底盘上，上端开有一中心孔，中心孔为圆柱形的通孔，其特征在于：所述的中心孔的上端进行60度斜角的扩孔，并在中心孔的四周均布有四个螺旋孔。
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