[实用新型]一种石墨弹性夹具

摘要

本实用新型提供了一种石墨弹性夹具，其特征在于：包括石墨卡帽、石墨卡瓣和石墨卡座；石墨卡瓣具有卡接孔、外锥面、第一端面、第二端面和缝隙，卡接孔用于夹持硅棒；石墨卡帽具有内锥面和外螺纹，内锥面的直径沿着硅棒伸入方向逐渐增大，石墨卡瓣的外锥面与所述石墨卡帽的内锥面相适配；石墨卡座具有第一凹槽、第一凹槽底部和内螺纹，石墨卡帽的外螺纹和石墨卡座的内螺纹构成螺纹连接，转动该螺纹连接，可使石墨卡帽和石墨卡座作轴向相对移动，石墨卡帽的内锥面压迫所述石墨卡瓣的外锥面，使得石墨卡瓣产生弹性变形而夹紧硅棒。本实用新型具有节约石墨材料消耗、硅棒与石墨弹性夹具之间的接触电阻小、石墨弹性夹具的使用寿命长的优点。

主权项

一种石墨弹性夹具，其特征在于：包括石墨卡帽、石墨卡瓣和石墨卡座；所述石墨卡瓣具有卡接孔、外锥面、第一端面、第二端面和缝隙，卡接孔用于夹持硅棒，沿着硅棒伸入方向依次为第一端面、外锥面和第二端面，外锥面的直径沿着第一端面到第二端面的方向逐渐增大，缝隙沿所述石墨卡瓣的径向与卡接孔贯通、且沿所述石墨卡瓣的轴向为开口向第二端面的盲槽；所述石墨卡帽具有内锥面和外螺纹，内锥面的直径沿着硅棒伸入方向逐渐增大，所述石墨卡瓣的外锥面与所述石墨卡帽的内锥面相适配；所述石墨卡座具有第一凹槽、第一凹槽底部和内螺纹，第一凹槽开口朝向硅棒伸入的方向，所述石墨卡瓣的第二端面支撑在所述石墨卡座的第一凹槽底部上，内螺纹设置在第一凹槽内，所述石墨卡帽的外螺纹和所述石墨卡座的内螺纹构成螺纹连接，转动该螺纹连接，可使石墨卡帽和石墨卡座作轴向相对移动，所述石墨卡帽的内锥面压迫所述石墨卡瓣的外锥面，使得石墨卡瓣产生弹性变形、石墨卡瓣的缝隙宽度变小、墨卡瓣的卡接孔产生径向收缩。