[实用新型]用于真空镀膜设备的铰链机构有效
申请号: | 201320287751.7 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN203307420U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 徐建龙 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44;E05D3/02 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;赵镇勇 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的铰链机构,属于真空镀膜设备用连接部件领域。该铰链机构包括:铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈;其中,所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉;所述铰链设置在所述铰链座的转轴上,能绕所述转轴转动,铰链上设有连接真空室门的螺钉;所述转轴一端为台阶轴,另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。该铰链机构结构简单、轻便、稳固性好且安装方便,使真空镀膜设备的真空室门容易装配,从而降低了真空镀膜设备的制造成本。并且使用中也方便了真空室门的开启与关闭,保证了镀膜室的真空密封,保证了镀膜工艺的顺利进行。 | ||
搜索关键词: | 用于 真空镀膜 设备 铰链 机构 | ||
【主权项】:
一种用于真空镀膜设备的铰链机构,其特征在于,包括:铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈;其中,所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉;所述铰链设置在所述铰链座的转轴上,能绕所述转轴转动,铰链上设有连接真空室门的螺钉;所述转轴一端为台阶轴,另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。
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